MEMS傳感器是令人驚奇的小器件，大小僅為幾平方毫米，通常包含兩個芯片。一個是傳感器芯片，通常來說MEMS器件提供運動或壓力信息，但它也可以用作磁性固態(tài)傳感器。另一個芯片提供必要的信號處理功能，可將來自傳感器的微弱的模擬信號轉(zhuǎn)換為有用信息，并通過一些串行總線傳遞這些信息。

　　這些傳感器外形小巧、價格實惠，是機器人的理想配件。它們既小巧又實惠，通常內(nèi)嵌在智能手機和其它消費電子游戲應用中進行銷售，目前已售出了數(shù)億個。此外，它們的耗電量很低。例如，當采用2V或3V電源時，一個加速度傳感器的功耗通常不到10μA;功耗通常是頻率和理想操作點精度之間的一個平衡點。低功耗方案，如低于1μA，還可以通過專用傳感器來實現(xiàn)，這些傳感器可作為一個運動觸發(fā)器或篡改探測單元來運行。它們提供的快速喚醒和關閉機制是影響功耗的最重要的參數(shù)。節(jié)能技術將根據(jù)應用需求獲取數(shù)據(jù)點所需的頻率而不斷變化。

　　對于空間受限應用，機器人設計人員還可以選用內(nèi)置了微控制器和內(nèi)存的加速度傳感器，通過定制軟件構建微小的系統(tǒng)。由于這些傳感器通常無需其它處理器便能連接其它傳感器，因此經(jīng)常被稱為傳感器集線器。例如，飛思卡爾XtrinsicMMA9550L提供3x3-mm三軸加速度傳感器和帶有14KB閃存和1.5KBRAM的32位微控制器。當機器人的末梢或手臂部分需要安放傳感器時，飛思卡爾XtrinsicMMA9550L和其它類似器件就非常有用，因為機器人的末梢或手臂部分的空間非常狹小。另一個應用是設計精致小巧的可穿戴式機器人系統(tǒng)，甚至用于內(nèi)窺鏡檢查醫(yī)療應用的可吞咽機器人膠囊。

　　這類器件上的板載內(nèi)存和微控制器也可用來實施傳感器通信協(xié)議，如IO-link。這個日益普及的傳感器網(wǎng)絡協(xié)議需要約10KB的內(nèi)存，因此，它可以集成在這個小巧的裝置中，實現(xiàn)全新傳感器節(jié)點的設計和規(guī)格。

　　在傳感器系統(tǒng)設計中，下一步是借助您能夠并且應該擁有的所有“感官”，來實現(xiàn)機器人性能目標。這通常被稱為傳感器融合，支持傳感器系統(tǒng)利用各個傳感器的優(yōu)勢生成更準確的數(shù)據(jù)和更好的產(chǎn)品設計。

　　例如，電子羅盤可指示南/北方向。雖然有人可能認為，讀取地球磁場的磁傳感器足以提供穩(wěn)定的信息，但事實并非如此。磁傳感器的輸出值將隨傳感器向上或向下傾斜而發(fā)生變化，因此需要添加線性運動傳感器(加速度傳感器)來感測傾斜運動，并采用某個三角函數(shù)算法補償磁傳感器的讀數(shù)。一個好的電子羅盤的設計將采用這兩種傳感器。而更好的系統(tǒng)將把這些傳感器集成在同一個封裝中，從而產(chǎn)生更小的傳感器。例如，飛思卡爾XtrinsicFXOS8700CQ在3x3x1.2-mm的封裝中集成了帶有傾斜補償?shù)牡卮艌鰷y量，提供了一種簡單的方法將x/y方向集成到任何機器人系統(tǒng)中。

　　又如：無法利用GPS信號的室內(nèi)定位系統(tǒng)采用WiFi基站三角測量法，在商場或機場內(nèi)定位用戶的智能手機。該系統(tǒng)的精度可通過添加極小的高度傳感器(如飛思卡爾XtrinsicMPL3115)得以增強。憑借約30厘米(1英尺)的相對高度分辨率，此傳感器能夠輕松地檢測到手機在大樓內(nèi)向樓上還是樓下移動。這個簡單的信息對于簡化或驗證復雜的三角測量算法非常有用。看守室外設施的監(jiān)控機器人還需要了解它是向山上還是山下運動，這對機器人的速度和功耗都有影響，也是計算其自主持續(xù)時間需要考慮的重要數(shù)據(jù)。

　　采用高度計實施的另一個傳感器融合功能是沖擊檢測。在倉庫地面或醫(yī)院大廳四處移動的自主機器人的設計應避免撞到人或物體，但如果發(fā)生碰撞，機器人必須能夠檢測到碰撞。可對加速度傳感器進行編程，使之根據(jù)特定“碰撞”標記檢測震動，但這并非萬無一失。在機器人周圍添加了耦合了氣動帶的壓力傳感器后，此系統(tǒng)擁有兩個不同的傳感信息源，可提高“碰撞事件”檢測的精度。

　　圖像識別是另一項偉大技術，可幫助自主機器人導航并避開障礙物。當今的視覺系統(tǒng)可識別形狀、物體、甚至人臉。一種移動中的機器人希望創(chuàng)建其周圍環(huán)境的實時3D地圖，以確定任何可能的障礙。

　　只要能見度和光照條件足以使圖像傳感器捕捉足夠的相關數(shù)據(jù)，照相機就能正常工作。但在室外條件下，視覺系統(tǒng)功能可能會受到雪、霧或其它天氣條件的限制。雷達傳感技術雖然不基于MEMS，但仍然是適當?shù)膫鞲衅魅诤显鲅a。將視頻圖像處理信息與距離和速度雷達數(shù)據(jù)相結合，可幫助智能導航算法計算出更精確的數(shù)據(jù)，并更好地構建機器人周圍環(huán)境的3D地圖。

　　雷達系統(tǒng)主要為自動應用而設計，也可輕松應用于其它系統(tǒng)。它們在77-GHz頻段上運行，并提供非常精確的距離和速度信息，從幾百米的距離到非常近的距離。傳統(tǒng)的系統(tǒng)采用分立式射頻電路和帶有旋轉(zhuǎn)天線的射頻模塊，以提供3D映像信息。

　　然而，借助150GHz過渡頻率(fT)的超高速晶體管的高性能硅鍺(SiGe)工藝，分立式射頻功能可以整合到芯片上。這能夠?qū)崿F(xiàn)經(jīng)濟高效的多頻段射頻芯片組解決方案的設計，支持多信道接線天線，不再需要旋轉(zhuǎn)天線。高性能射頻工藝、設計專業(yè)知識，再加上數(shù)字波束賦形技術和信號處理算法，使雷達系統(tǒng)能夠滿足高容量汽車和機器人應用的尺寸和成本要求。

　　上述內(nèi)容為傳感技術的實例，機器人設計人員可利用這些技術改進他們的系統(tǒng)設計。許多傳感器專為要求高容量、高質(zhì)量、低成本的消費類智能手機或汽車應用而設計。借助適當?shù)膫鞲衅魅诤纤惴ǎ@些低成本傳感器可實現(xiàn)全新的機器人設計。