（一）MEMS的定義

      微機電系統（Micro Electro-Mechanical System，簡稱MEMS），是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的電子機械器件。MEMS具有微型化、智能化、高集成度和適于大批量生產、多學科交叉等特征。

（二）MEMS器件分類

MEMS器件根據其技術原理可分為四類：傳感MEMS、生物MEMS、光學MEMS和射頻MEMS。

      MEMS整個產業鏈涉及設計、制造、封裝測試、軟件及應用方案環節。MEMS產業鏈的上游負責MEMS器件設計、材料和生產設備供應，中游生產制造出MEMS器件，下游使用MEMS器件制造終端電子產品。

（一）全球市場格局

1.全球MEMS行業市場規模保持穩定增長。

       據IC Insights統計，2019年全球MEMS產業市場銷售額超140億美元，同比增長10%，預計未來幾年全球MEMS市場將以15%的年復合增長率增長，到2023年市場規模突破200億美元。

2.細分領域呈現寡頭壟斷的分布格局。

據Yole Development公布的2018年全球MEMS元件廠商TOP30企業榜單，TOP30企業的總銷售額高達103億美元（占全行業81%）。其中，美國排名前30的廠商有12家，市場份額占比45.63%，主要包括RF MEMS、壓力傳感器、慣性傳感器、溫濕傳感器、MEMS麥克風等細分領域；日本排名前30的廠商有10家，市場份額占比18.97%，主要包括圖像傳感器、繼電器、噴墨打印頭、壓力傳感器等領域；而中國只有歌爾和瑞聲兩家企業上榜，主要生產MEMS麥克風。

3.歐美MEMS代工廠具有壓倒性優勢。

據Yole Development 發布的2018年全球MEMS代工廠發展報告，提供MEMS代工的IDM廠商主要有ST、索尼、TI等，臺積電MEMS代工業務也排在前列。從MEMS代工業務規模來看，TOP1為美國的ST，每2臺手機中就有1顆ST MEMS傳感器，其開展MEMS代工業務已有20余年。TOP2為加拿大的Teledyne DALSA，是全球最大的純MEMS 代工廠。TOP4是中國耐威科技控股公司Silex Microsystems AB，在純MEMS代工廠中排名第二。

（二）國內市場格局

1.中國成全球MEMS市場增長最快地區。

近年來，受益于消費電子類產品，如智能手機、平板電腦等產量保持穩定增長，帶動加速傳感器、陀螺儀、硅麥克風等MEMS行業需求的增長，中國成為全球MEMS市場發展最快的地區。據賽迪智庫統計，2018年中國MEMS整體市場規模達到504.3億元，預計到2021年將達到851.1億元。

2.長三角是我國MEMS產業發展主陣地。

據中國信通院統計數據，2018年我國MEMS傳感器制造企業大約有200家，主要集中在長三角地區，占比超60%，其中江蘇省占比接近30%。主要得益于長三角良好的集成電路產業基礎，硅基MEMS研發及代工生產線資源較多，產業鏈配套較完善。

1.深圳市MEMS下游應用市場規模全國最大。

MEMS傳感器作為手機、電腦、智能穿戴、無人機、機器人等各類智能產品必備的核心零部件，是電子信息行業眾多制造企業生存和發展的根本。深圳作為世界級的電子信息產業基地，在汽車電子、智能手機、智能穿戴、生物醫療、機器人、AR/VR、無人機、衛星及工業互聯網等領域擁有大批國內外知名的廠商，對各類MEMS傳感器存在巨大市場需求量。

深圳市相關MEMS傳感器下游應用企業

2.深圳市MEMS產業總體呈現“小而精”的特征。

據不完全統計，目前深圳市范圍內研發、制造生產MEMS傳感器的相關企業共計62家，其中上市公司13家，南山區和寶安區占比超半數。既有瑞聲聲學、精量電子等技術積累雄厚的老牌企業，也不乏速騰聚創、鐳神智能等擁有強大研發實力的后起之秀，產品涉及范圍十分廣泛，涵蓋航空航天、能源、醫療、交通、民生等領域。深圳的MEMS產業總體上呈現“小而精”的特點，多個細分領域擁有一批國內外具有一定影響力的科技創新型企業，但企業的規模普遍較小。

深圳市MEMS細分領域重點企業

3.深圳市MEMS產業鏈制造短板凸顯。

目前，中國的MEMS中試、代工及IDM生產線主要分布在長三角地區。深圳乃至粵港澳大灣區尚無一條可以滿足多種MEMS產品制造、封裝、測試需求的晶圓生產線，無法滿足設計企業、研究機構開發新產品的加工試制、測試需要，造成本地MEMS產業生態圈失衡。據多家本地企業反映，其主要到蘇州、上海等地尋求晶圓代工服務進行產品中試驗證。此外，由于深圳市在MEMS制造環節的配套不完善，企業從戰略布局的角度考慮可能不會優先選擇落地深圳。

國內MEMS晶圓產線分布情況

1.突破共性核心技術，搶占戰略發展制高點。

重點圍繞MEMS慣導組件、車規級MEMS激光雷達、工業級MEMS壓電及力學傳感器等高精度、高可靠性核心器件的共性通用技術，實施一批重大核心技術攻關專項，力爭取得一批產業帶動性強、自主可控的重大原創科技成果和自主知識產權，搶占MEMS產業高端價值鏈。

2.建立MEMS中試平臺，助力企業提速發展。

以政府為主導搭建MEMS中試平臺，圍繞射頻、壓電、光學MEMS器件開展特色制造工藝的研發和中試，為廣大中小企業開發新產品提供工藝技術開發、流片試制、中試驗證、檢測評估等公共服務，加速MEMS器件全流程研發創新，補齊制造短板，構建大灣區MEMS產業創新生態圈，促進MEMS產業高端化發展。

3.面向全球“靶向引才”，構筑創新人才高地。

      設立MEMS行業稀缺人才特殊獎勵政策，主動面向全球MEMS行業領軍企業、研究機構和高校引進一批擁有豐富制造生產經驗和先進工藝開發能力的頂級技術專家及工程師，助于本地MEMS企業迅速提升設計能力和工藝水平。同時，依托MEMS中試平臺開展國際研發項目合作、共建聯合實驗室，培養一批MEMS領軍人才，加強后備人才隊伍建設。引進和培育“兩手抓”，構建國際一流人才高地，激發創新活力。