1998年進(jìn)入知識(shí)創(chuàng)新工程后，上海微系統(tǒng)所成功發(fā)射創(chuàng)新一號(hào)01、02和03星、“神舟七號(hào)”伴星，是我國微小衛(wèi)星的重要研制基地；實(shí)施了上海世博會(huì)防入侵傳感網(wǎng)、浦東機(jī)場防入侵系統(tǒng)、太湖水質(zhì)監(jiān)控傳感網(wǎng)、南水北調(diào)中線安防系統(tǒng)等物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用示范工程，引領(lǐng)物聯(lián)網(wǎng)核心技術(shù)，推升為國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)；研發(fā)出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的寬帶無線通信系統(tǒng)，應(yīng)用于汶川和玉樹抗震搶險(xiǎn)、上海世博會(huì)等重大事件，在抗震救災(zāi)、維穩(wěn)、公共安全、數(shù)字化城市等方面發(fā)揮了不可替代作用；SOI材料實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，填補(bǔ)國內(nèi)空白，應(yīng)用于國家重大關(guān)鍵工程，控股的上海新傲科技股份有限公司是國內(nèi)唯一一個(gè)具有國際先進(jìn)水平的國家級(jí)高端硅基材料產(chǎn)業(yè)化基地。  

　　 “十二五”期間，上海微系統(tǒng)所作為中科院第一個(gè)系統(tǒng)級(jí)型號(hào)任務(wù)的技術(shù)總體單位，突破了多功能復(fù)合傳感器等關(guān)鍵技術(shù)，確立了特種寬帶無線傳感網(wǎng)系統(tǒng)解決方案，實(shí)現(xiàn)了在我國相關(guān)單元的大規(guī)模應(yīng)用和通信體制由窄帶向?qū)拵У募夹g(shù)跨越。研制成功國內(nèi)第一顆基于SOI材料的0.13um工藝大規(guī)模高可靠專用集成電路ASIC芯片，應(yīng)用于北斗導(dǎo)航衛(wèi)星等國家關(guān)鍵工程，為我國航天核心元器件的自主可控奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。超導(dǎo)單光子探測器SNSPD助力中科大潘建偉院士在國際上首次實(shí)現(xiàn)防止黑客攻擊的200公里測量器件無關(guān)量子密鑰分發(fā)，成果入選兩院院士評(píng)選2014年中國十大科技進(jìn)展。超高g加速度傳感器為我國戰(zhàn)略裝備提供了不可替代產(chǎn)品，打破國際禁運(yùn)。發(fā)起設(shè)立的MEMS技術(shù)產(chǎn)業(yè)化平臺(tái)-上海微技術(shù)工業(yè)研究院被列為上海建設(shè)具有全球影響力科創(chuàng)中心的“四梁八柱”。 

　　上海微系統(tǒng)所現(xiàn)有傳感技術(shù)、信息功能材料、微系統(tǒng)技術(shù)三個(gè)國家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，有無線傳感網(wǎng)與通信、太赫茲固態(tài)技術(shù)兩個(gè)中科院重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，并依托上海微系統(tǒng)所成立了中國科學(xué)院超導(dǎo)電子學(xué)卓越創(chuàng)新中心。 

　　上海微系統(tǒng)所現(xiàn)有在職職工612人，其中一線科技和管理人員574人，研究員及正高級(jí)工程技術(shù)人員99人，有中國科學(xué)院院士2人、美國國家科學(xué)院外籍院士1人，有國家“千人計(jì)劃”7人和青年“千人計(jì)劃”2人、國家杰出青年科學(xué)基金獲得者4人、國家優(yōu)秀青年科學(xué)基金獲得者1人、中國科學(xué)院“百人計(jì)劃”21人、國家“百千萬人才工程”入選者5人、上海市科技領(lǐng)軍人才8人次。  

　　上海微系統(tǒng)所是國務(wù)院學(xué)位委員會(huì)批準(zhǔn)的首批博士、碩士學(xué)位授予單位之一，設(shè)有電子科學(xué)與技術(shù)、信息與通信工程兩個(gè)專業(yè)一級(jí)學(xué)科博士/碩士研究生培養(yǎng)點(diǎn)，材料物理與化學(xué)專業(yè)二級(jí)學(xué)科博士/碩士研究生培養(yǎng)點(diǎn)，有電子科學(xué)與技術(shù)、材料科學(xué)與工程兩個(gè)專業(yè)一級(jí)學(xué)科博士后流動(dòng)站。現(xiàn)有在學(xué)研究生445人，其中碩士生238人、博士生207人，在站博士后39人。